隨著碳化硅(SiC)產業的迅猛發展,兩家SiC相關設備制造商近日宣布成功完成批量出貨,顯示了該領域的繁榮態勢。
廣州粵升半導體設備有限公司在11月13日成功完成多臺SiC設備的批量出貨,其中液相法SiC單晶爐是SiC產業鏈中的關鍵組成部分。該產品為客戶提供了高質量、低成本的SiC襯底新解決方案。廣州粵升成立于2021年9月,專注于SiC外延設備和SiC晶體生長設備的研發與生產,為客戶生產高質量的SiC外延片和晶片。
在短短兩年內,廣州粵升取得了顯著的研發進展。該公司與廣州海創產業技術研究院合作,成立了SiC外延設備研發中心,成功研發了SiC外延設備,并于2023年2月開始液相法SiC單晶設備的研發。該公司的努力不僅推動了SiC外延設備國產化進程,而且為SiC產業鏈的發展貢獻了力量。
另一方面,優睿譜半導體設備(無錫)有限公司宣布推出SICV200晶圓電阻率量測設備,并已成功發貨給兩家客戶。SICV200是一款用于測量硅片電阻率、SiC或其他半導體材料摻雜濃度的半導體量測設備。該設備支持各種不同尺寸晶圓,包括12英寸,在多頻率下進行CV特性分析。該公司成立于2021年,專注于打造高品質的半導體前道量測設備。
在今年7月,優睿譜已成功交付SiC自動光學位錯微管檢測設備SICD系列,用于SiC襯底的位錯及微管缺陷檢測。此外,其FTIR設備Eos200Lite也已成功獲得多家頭部SiC基外延廠訂單,可用于SiC外延片外延層厚度及均勻性測量。
這兩家公司的成功批量出貨標志著碳化硅產業鏈的不斷完善和SiC技術的日益成熟。這對于推動碳化硅在半導體領域的應用,尤其是在新能源和電動汽車等領域,具有積極的推動作用。 SiC技術的不斷創新和設備的不斷進步將為未來高性能半導體的發展提供更為堅實的基礎。
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