到2023年底,ASML在中國(guó)大陸的設(shè)備安裝數(shù)量將接近1400臺(tái)。盡管美國(guó)對(duì)中國(guó)的芯片出口管制日益嚴(yán)格,但ASML在中國(guó)市場(chǎng)的業(yè)績(jī)卻創(chuàng)下了新高。
據(jù)ASML全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波透露,自1988年第一臺(tái)機(jī)器運(yùn)到中國(guó)以來(lái),到2023年底,ASML在中國(guó)大陸的曝光機(jī)加上量測(cè)設(shè)備的總裝機(jī)量將接近1400臺(tái)。
然而,這25年間,ASML在中國(guó)大陸裝機(jī)的EUV機(jī)臺(tái)數(shù)量為零,那么DUV曝光機(jī)又有多少臺(tái)呢?其中又有多少臺(tái)是可以幫助實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制程的浸潤(rùn)式DUV機(jī)臺(tái)呢?
根據(jù)ASML的年報(bào)數(shù)據(jù),包括浸潤(rùn)式和乾式DUV機(jī)臺(tái)在內(nèi),由于產(chǎn)能有限,ASML全球每年的出貨量大約在100到200臺(tái)之間,直到2021年才首次突破200臺(tái);至于在中國(guó)大陸的營(yíng)收貢獻(xiàn)度,從2015年開始才單獨(dú)公布,起初占比不到10%。
據(jù)業(yè)界人士消息和估計(jì),中國(guó)企業(yè)目前擁有約300臺(tái)可以量產(chǎn)先進(jìn)制程的浸潤(rùn)式DUV曝光機(jī),其中已裝機(jī)近百臺(tái),另外還有約200臺(tái)的庫(kù)存。
但需要注意的是,這些能夠量產(chǎn)先進(jìn)制程的浸潤(rùn)式DUV機(jī)臺(tái)并不一定全部應(yīng)用于先進(jìn)制程。實(shí)際上,它們的主要用途仍然是按照ASML的出廠設(shè)定功能,主要聚焦于中端和成熟制程。然而,一些中國(guó)企業(yè)通過(guò)多重曝光等技術(shù)手段,使得這些機(jī)臺(tái)理論上可以用于生產(chǎn)7納米及以下的芯片。
換言之,如果簡(jiǎn)單地把已裝機(jī)數(shù)量和庫(kù)存加起來(lái)計(jì)算,在美國(guó)芯片設(shè)備禁令生效后(預(yù)計(jì)在2024年元旦),中國(guó)企業(yè)在現(xiàn)有的300臺(tái)設(shè)備基礎(chǔ)上再想大量采購(gòu)高端DUV機(jī)臺(tái)會(huì)面臨很大困難。這也是為什么在2023年ASML向中國(guó)市場(chǎng)的出貨量會(huì)大幅增長(zhǎng)的原因之一——中國(guó)企業(yè)想在禁令生效前抓緊采購(gòu)設(shè)備。
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