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支持后2nm工藝時代！ASML將發貨新EUV光刻機EXE:5200 英特爾是買家

來源： 責編： 時間：2025-02-03 08:26:05 70觀看
導讀 快科技2月1日消息，據國外媒體報道稱，ASML已經確認，即將出貨新款的EUV光刻機EXE:5200，相比上代來說，表現更加強悍，當然不會賣給中國廠商。按照官方的說法，EXE:5200是現有初代High NA EUV光刻機EXE:5000的改進款，其將

快科技2月1日消息，據國外媒體報道稱，ASML已經確認，即將出貨新款的EUV光刻機EXE:5200，相比上代來說，表現更加強悍，當然不會賣給中國廠商。V5R28資訊網——每日最新資訊28at.com

按照官方的說法，EXE:5200是現有初代High NA EUV光刻機EXE:5000的改進款，其將擁有更高的晶圓吞吐量（EXE:5000為每小時185片以上），可以更好的為2nm工藝量產做支撐。V5R28資訊網——每日最新資訊28at.com

在這之前，ASML宣布英特爾訂購了業界首個TWINSCAN EXE:5200光刻機（一種具有高數值孔徑和每小時 200 多片晶圓的極紫外 (EUV) 大批量生產系統），這標志著他們在引入0.55 NA EUV的道路上又邁出了一步。V5R28資訊網——每日最新資訊28at.com

TWINSCAN EXE:5000和EXE:5200均提供了0.55數值孔徑，比前代EUV光刻機0.33數值孔徑透鏡的精度提高了，可以為更小的晶體管功能提供更高分辨率的模式。V5R28資訊網——每日最新資訊28at.com

EUV 0.55 NA 的設計旨在從2025年開始實現多個未來節點，這是業內首次部署，隨后將采用類似密度的內存技術。V5R28資訊網——每日最新資訊28at.com

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