韓國SK集團(tuán)于2020年以400億韓元收購了錦湖石化的電子材料業(yè)務(wù),新成立的子公司SK Material Performance(SKMP)近期成功研發(fā)了一種高厚度KrF光刻膠,并已通過SK海力士的性能驗證。這一創(chuàng)新將助力SK海力士的3D NAND閃存技術(shù)發(fā)展。
據(jù)悉,SKMP開發(fā)的KrF光刻膠厚度為14~15微米,與東進(jìn)半導(dǎo)體(DONGJIN SEMICHEM)供應(yīng)給三星的產(chǎn)品相似,而日本JSR公司的類似產(chǎn)品厚度僅為10微米。現(xiàn)在,隨著SKMP的加入,SK海力士將能夠利用這款KrF光刻膠生產(chǎn)238層3D NAND閃存。
SKMP的崛起可能會改變行業(yè)格局,取代日本JSR的主導(dǎo)地位,成為其主要供應(yīng)商。目前,SK海力士的238層3D NAND閃存晶圓的月產(chǎn)能約為5000片,預(yù)計未來將進(jìn)一步提升產(chǎn)能,從而推動SKMP公司光刻膠的銷售增長。
在閃存技術(shù)方面,SK海力士于2023年8月展示了世界首款321層NAND閃存芯片樣品,屬于TLC 4D NAND,容量高達(dá)1Tb,預(yù)計產(chǎn)品將于2025年量產(chǎn)。這一突破性的技術(shù)進(jìn)步將進(jìn)一步強(qiáng)化SK海力士在存儲器市場的競爭力。
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