在全球半導體市場掀起一股創新浪潮,蔚華科(股票代碼:3055-TW)宣布與旗下數位光學品牌南方科技攜手合作,共同推出引領行業變革的產品——JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統。該系統以先進非線性光學技術為基礎,徹底顛覆了傳統破壞性檢測方式,助力化合物半導體行業實現全新突破。
據蔚華科董事長秦家騏透露,目前已有8-10家潛在客戶在測試該系統,涵蓋了臺灣、中國、歐洲等地,而美國也將很快加入其中。秦家騏對產品前景充滿信心,認為這將是一次“全壘打”,未來還將與南方科技共同加速推動矽光子等先進光學檢測技術商業化。
化合物半導體基板材料的質量直接影響下游晶片的可靠性和性能。然而,SiC基板的長晶速度相對較慢,而且傳統的基板晶體缺陷檢測方式需要采用破壞性的KOH蝕刻方法,導致SiC晶片成本居高不下。
JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統通過先進的非線性光學技術,對碳化矽(SiC)基板進行全片掃描,準確找出基板內部的致命性晶體缺陷。相較于傳統的高成本破壞性KOH(氫氧化鉀)蝕刻檢測方式,該系統能夠提升產量,有助于改善制程效率。
南方科技總經理王嘉業表示,在每個長晶爐月產4個SiC晶錠的情況下,采用JadeSiC-NK系統后,每個晶錠可節省2片基板成本。以每片6吋基板800美元計價,一個長晶爐每年可望節省新臺幣250萬元因蝕刻而損耗的成本。
這一引領科技發展的創新產品標志著蔚華科與南方科技共同在半導體行業取得的重要突破,為未來的技術合作和商業發展奠定了堅實的基礎。
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