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凱世通國產離子注入機突破500萬片大關

來源:icspec 責編: 時間:2025-05-20 10:10:47 38觀看
導讀5月16日,凱世通在上海浦東新區舉辦了一場慶典活動,慶祝其國產低能大束流離子注入機在12英寸晶圓產品片上的過貨量突破500萬片。離子注入機作為芯片制造的三大核心裝備之一,技術門檻極高,僅次于光刻機。其中,低能大束流離子
5月16日,凱世通在上海浦東新區舉辦了一場慶典活動,慶祝其國產低能大束流離子注入機在12英寸晶圓產品片上的過貨量突破500萬片。
離子注入機作為芯片制造的三大核心裝備之一,技術門檻極高,僅次于光刻機。其中,低能大束流離子注入機不僅市場規模最大,還面臨極高的產業化難度。據公開資料顯示,自2020年交付首臺設備以來,凱世通始終堅持自主研發和原創設計,攻克了多項技術難題,實現了關鍵部件的國產化。公司不僅覆蓋了28納米工藝的全面應用,還成功支撐了國內10余家主流12英寸集成電路產線的安全量產,涉及先進邏輯、先進存儲、CIS圖像傳感器以及功率芯片四大核心領域。
活動現場,客戶代表向凱世通授予了“凱世通速度”書法作品,以表彰其在技術研發和量產方面的卓越表現。凱世通以“每月等效2個月”的研發效率,不斷刷新低能大束流離子注入機在產線安全量產上的新高度,探索國產化應用的無人區。

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