據大眾日報報道,艾恩半導體自主研發(fā)的第一代碳化硅離子注入機已進入市場驗證階段。此外,該公司對標國際領先技術的第二代碳化硅離子注入機正在加速研發(fā),預計今年9月面市。今年6月,艾恩半導體還將推出一款硅基中束流離子注入機,而其碳化硅大束流離子注入機則計劃于年底推向市場,有望填補國產設備在這一領域的空白。
離子注入機是芯片制造中僅次于光刻工藝的關鍵環(huán)節(jié),其性能直接影響芯片內部結構器件的核心電學特性,對第三代半導體產業(yè)發(fā)展具有重要意義。由于技術門檻高、驗證周期長,該領域長期被國外廠商壟斷,國產化率較低,國內廠商易受制于人。在此背景下,艾恩半導體等國內企業(yè)積極布局,推動國產離子注入機的研發(fā)與應用。
艾恩半導體成立于2024年,在魯信集團直管企業(yè)魯信創(chuàng)投的支持下,將總部遷至山東濟南高新區(qū)。魯信創(chuàng)投在艾恩半導體成立初期便進行投資孵化,并通過招商引資助其落戶山東,進一步完善了山東第三代半導體產業(yè)鏈。此舉不僅促進了上下游企業(yè)的協(xié)同發(fā)展,還助力打造空間集聚、功能關聯(lián)的第三代半導體產業(yè)集群。

圖源:艾恩半導體
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