據(jù)國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）數(shù)據(jù)顯示，2024年全球離子注入設(shè)備市場規(guī)模已達276億元，預計到2030年將增長至307億元，年復合增長率為2.1%。其中，中國國內(nèi)市場空間約160億元，展現(xiàn)出巨大的國產(chǎn)替代潛力。
3月26日，在SEMICON China 2025展會上，北方華創(chuàng)正式宣布進軍離子注入設(shè)備市場，并推出首款國產(chǎn)離子注入機Sirius MC 313。這一戰(zhàn)略舉措標志著北方華創(chuàng)在半導體核心裝備領(lǐng)域完成關(guān)鍵布局，為國產(chǎn)高端半導體設(shè)備的突破注入新動力。
離子注入設(shè)備是芯片制造中的重要環(huán)節(jié)，雖然其關(guān)注度不如光刻機，但在半導體制造中卻不可或缺。該設(shè)備通過將特定元素的帶電離子以精確控制的能量注入半導體材料，實現(xiàn)對材料電學性能的精準調(diào)控。其技術(shù)流程包括離子源生成、電場加速以及精確注入等關(guān)鍵步驟，工藝復雜且技術(shù)壁壘較高。
北方華創(chuàng)此次推出的Sirius MC 313，不僅填補了國內(nèi)高端離子注入設(shè)備的空白，還有望打破國際巨頭長期以來的市場壟斷。隨著該設(shè)備的量產(chǎn)，北方華創(chuàng)將成為全球少數(shù)具備離子注入設(shè)備生產(chǎn)能力的供應(yīng)商之一，為中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控提供重要支持。
行業(yè)專家認為，此次布局將顯著提升中國在關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域的自主創(chuàng)新能力，為下游芯片制造企業(yè)提供更多選擇，推動中國半導體產(chǎn)業(yè)向高端化發(fā)展。

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