快科技7月8日消息,大家都知道,硅是一切芯片的根基。硅常見的來源,就是海灘上不起眼的沙子。
但從一粒普通的石英砂到可承載數十億晶體管的硅晶圓,需要經歷一場跨越物理與化學邊界的人生。
第一步:從石英砂到冶金級硅,劈開硅與氧的緊密聯結
硅元素在自然界中以二氧化硅(SiO₂)形態存在,地球上含量極高。 雖然普通的沙子也能用來提煉硅,不過現代半導體產業為了追求更高純度,主要使用的含硅純度極高的“石英砂”又稱為“硅砂”,這種材料主要來自風化后的花崗巖與石英脈礦。
其硅含量高達95%,不僅雜質少,物理結構也更適合熔煉與晶體成長,是自然界中硅元素純凈的 “天然倉庫”。
二氧化硅中的硅與氧原子結合得非常緊密,無法直接使用,必須先經過高溫還原。 這個過程通常會在大型電弧爐中進行,將二氧化硅、碳(如煤炭和木屑)在高達1800°C 的高溫作用下,產生還原反應:SiO₂ + 2C → Si + 2CO↑
反應生成的固態產物被稱為冶金級硅,純度約 98-99%。這一步就像從礦石中初煉出金屬,雖已脫離天然形態,卻仍帶著大量雜質,僅能用于煉鋼、制造合金等工業領域。全球每年數百萬噸的冶金級硅中,只有不到1%能進入下一段旅程。
第二步:從冶金級硅到多晶硅,提純至11個9的純凈
要成為半導體的 “基石”,硅的純度必須達到驚人的高度。冶金級硅首先與氯化氫反應,轉化為液態的三氯硅烷(SiHCl₃), 這一步如同將粗糖溶解成糖漿,讓雜質更容易被分離。
隨后,三氯硅烷進入 “西門子法(Siemens Process)” 的提純環節:在 1100°C 的鐘形反應爐中,經過蒸餾凈化的三氯硅烷被氣化還原,硅原子逐漸沉積在爐內的載體上,形成高純度的多晶硅棒。
終得到的多晶硅純度高達 99.999999999%(11個9),就像黑糖被反復精煉成晶瑩的白砂糖。這種近乎完美的純凈度至關重要,哪怕百萬分之一的雜質,都可能導致后續芯片失效。
至此,硅終于擺脫了 “工業材料” 的身份,成為半導體產業的 “候選者”。
第三步:從多晶硅到單晶硅棒,讓原子排列成 “紀律部隊”
多晶硅雖純,內部原子卻像雜亂的人群;而芯片需要原子排列整齊的 “單晶結構”,這就需要 “柴可拉斯基法(Czochralski Process)” 登場。
多晶硅被放入坩堝中加熱至1420°C 熔化,一根單晶硅制成的 “晶種棒” 緩慢插入熔融的硅液中,同時精確控制旋轉與拉升速度。
就像制作棉花糖時,糖漿會順著竹簽的方向形成有序的糖絲,硅原子也會沿著晶種的排列方式逐漸 “生長”,終形成一根圓柱形的單晶硅棒。這根硅棒的原子排列如同訓練有素的隊列,為后續芯片的電學性能奠定了基礎。
第四步:切割與加工,從硅棒到硅晶圓
單晶硅棒需要經過切割、研磨、拋光等一系列 “精修”:先被切割成厚度僅0.5毫米左右的薄片,再通過精密研磨去除表面損傷,后用化學拋光將表面處理到納米級平整 。
這些薄如蟬翼的圓片,就是我們所說的 “硅晶圓”。目前全球硅晶圓市場主要由日本信越化學、勝高和中國臺灣環球晶掌控,其中信越化學占據三成以上份額,是臺積電等頂級代工廠的核心供應商。
第五步:從硅晶圓到芯片,微觀世界的 “造芯術”
后,從硅晶圓到芯片,是一場更精密、更復雜的 “微觀雕刻”。如果說硅晶圓是芯片的 “毛坯”,那么芯片制造就是在這薄片上進行“裝修“”,用納米級精度 “繪制” 數十億個晶體管,并構建起復雜的電路網絡。
這一過程涉及上百道工序,核心可濃縮為五大關鍵階段:
1、預處理:給 “毛坯” 穿層 “防護衣”
硅晶圓雖已足夠平整,卻需先經過嚴格清洗,去除表面殘留的微小顆粒和金屬雜質 ,哪怕 0.1 微米的雜質都可能毀掉后續電路。清洗干凈后,晶圓會被送入高溫爐,表面與氧氣反應生成一層二氧化硅薄膜,這層薄膜既是絕緣層,也是后續工序的 “防護盾”。
2、光刻:用 “光” 畫出納米電路圖
這一步是芯片制造的 “靈魂”。先在晶圓表面涂上感光的光刻膠,再用光刻機(如 EUV 光刻機)將設計好的電路圖案投射到膠上。曝光后的光刻膠會發生化學變化,經顯影后,電路圖案就像 “模板” 一樣留在晶圓上,精度可達納米級(如 3nm 制程,線條比頭發絲細幾萬倍)。
3、刻蝕與摻雜:雕出能 “開關” 的晶體管
刻蝕:按光刻的 “模板”,用等離子體或化學溶液 “腐蝕” 掉未被保護的部分,把電路圖案永久刻在硅片上,形成凹槽、導線等結構。
摻雜:向硅中注入微量雜質(如硼、磷),讓局部區域變成能導電的 “半導體”,終形成晶體管——芯片的 “基本開關”,能實現電信號的通斷。
4、金屬化:連接數十億 “開關”
單個晶體管無法工作,需用金屬(如銅)通過 “薄膜沉積” 技術,在晶圓表面形成導線,將數十億個晶體管按電路設計連接起來,構成完整的運算網絡。
5、切割與測試:從 “圓片” 到 “芯片”
后,晶圓會被切割成一個個獨立的芯片,經嚴格測試篩選出合格產品,封裝后就成了我們熟悉的芯片。 手機、電腦里的 “大腦” 就此誕生。
從硅晶圓到芯片,每一步都是對精度的極致追求,納米級的操作讓一片薄薄的硅片,終擁有了強大的運算能力。
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