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史上先進!ASML研發新一代Hyper NA EUV光刻機:5nm單次曝光

來源: 責編: 時間:2025-06-29 17:20:28 50觀看
導讀 快科技6月29日消息,全球大半導體設備龍頭ASML已著手研發下一代Hyper NA EUV先進光刻機,為未來十年的芯片產業做準備。Jos Benschop表示,ASML及獨家光學合作伙伴蔡司(Carl Zeiss)正在研究可在單次曝光中印刷出分

快科技6月29日消息,全球大半導體設備龍頭ASML已著手研發下一代Hyper NA EUV先進光刻機,為未來十年的芯片產業做準備。6hA28資訊網——每日最新資訊28at.com

Jos Benschop表示,ASML及獨家光學合作伙伴蔡司(Carl Zeiss)正在研究可在單次曝光中印刷出分辨率精細到5nm的EUV光刻機,可滿足2035年之后的制程需求。6hA28資訊網——每日最新資訊28at.com

據悉,ASML目前出貨的先進光刻機,可達到單次曝光8nm分辨率。 而之前老舊光刻機必須多次曝光才能達到類似分辨率,不僅效率較低,而且良率也有限。6hA28資訊網——每日最新資訊28at.com

Benschop指出,ASML正與蔡司進行設計研究,目標是實現數值孔徑(NA)0.7 或以上,目前尚未設定具體上市時間表。6hA28資訊網——每日最新資訊28at.com

數值孔徑(NA)是衡量光學系統收集與聚焦光線能力的關鍵指標,也是決定電路圖樣能否精細投影到晶圓上的關鍵因素。 當NA越大、光波長越短,印刷分辨率就越高。6hA28資訊網——每日最新資訊28at.com

目前標準EUV光刻機的NA為0.33,新一代High NA EUV則提升至0.55。 當下,ASML正朝向NA 0.7或超高NA(Hyper NA)邁進。6hA28資訊網——每日最新資訊28at.com

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