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ASML稱中國早已研發(fā)國產(chǎn)光刻機(jī)：中科院成功研發(fā)DUV光源技術(shù) 能生產(chǎn)3nm

來源： 責(zé)編： 時間：2025-06-07 17:09:19 59觀看
導(dǎo)讀 快科技6月7日消息，據(jù)國外媒體報道稱，近日ASML CEO接受媒體采訪時表示，中國早已研發(fā)國產(chǎn)光刻設(shè)備。在這位CEO看來，盡管中國在趕超ASML的技術(shù)方面還有很長的路要走，但美國出臺的打壓措施只會適得其反，讓中國“

快科技6月7日消息，據(jù)國外媒體報道稱，近日ASML CEO接受媒體采訪時表示，中國早已研發(fā)國產(chǎn)光刻設(shè)備。gBY28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

在這位CEO看來，盡管中國在趕超ASML的技術(shù)方面還有很長的路要走，但美國出臺的打壓措施只會適得其反，讓中國“更努力取得成功”。他還稱，與其打壓中國等競爭對手，不如將注意力放在創(chuàng)新上。gBY28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

“中國已經(jīng)開始研發(fā)一些國產(chǎn)光刻設(shè)備，盡管中國在趕超ASML的技術(shù)方面還有很長的路要走，但你試圖阻止的人會更加努力地取得成功。”gBY28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

在這之前，中國科學(xué)院成功研發(fā)除了突破性的固態(tài)DUV(深紫外)激光，可發(fā)射193nm的相干光，與目前主流的DUV曝光波長一致，能將半導(dǎo)體工藝推進(jìn)至3nm。gBY28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

中國科學(xué)院的這種技術(shù)終獲得的激光平均功率為70mW，頻率為6kHz，線寬低于880MHz，半峰全寬(FWHM)小于0.11pm(皮米，千分之一納米)，光譜純度與現(xiàn)有商用準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)相當(dāng)。gBY28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

基于此，甚至可用于3nm的工藝節(jié)點。gBY28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

能生產(chǎn)3nm！中科院成功研發(fā)全固態(tài)DUV光源技術(shù)：完全不同于ASMLgBY28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

這種設(shè)計可以大幅降低光刻系統(tǒng)的復(fù)雜度、體積，減少對于稀有氣體的依賴，并大大降低能耗。gBY28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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相關(guān)技術(shù)已經(jīng)在國際光電工程學(xué)會(SPIE)的官網(wǎng)上公布。這種全固態(tài)DUV光源技術(shù)雖然在光譜純度上已經(jīng)和商用標(biāo)準(zhǔn)相差無幾，但是輸出功率、頻率都還低得多。gBY28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

對比ASML的技術(shù)，頻率贏達(dá)到了約2/3，但輸出功率只有0.7％的水平，因此仍然需要繼續(xù)迭代、提升才能落地。gBY28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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