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國產芯片從無到有重大突破:首片300mm SOI晶圓制備完成

來源: 責編: 時間:2023-10-23 17:03:26 319觀看
導讀 快科技10月22日消息,中國科學院上海微系統所官方公眾號日前發布消息,稱魏星研究員團隊在300 mm SOI晶圓制造技術方面取得突破性進展。制備出了國內第一片300mm射頻(RF)SOI晶圓,實現了從無到有的重大突破。根據文

快科技10月22日消息,中國科學院上海微系統所官方公眾號日前發布消息,稱魏星研究員團隊在300 mm SOI晶圓制造技術方面取得突破性進展nBl28資訊網——每日最新資訊28at.com

制備出了國內第一片300mm射頻(RF)SOI晶圓,實現了從無到有的重大突破nBl28資訊網——每日最新資訊28at.com

根據文章介紹,團隊基于集成電路材料全國重點實驗室300mm SOI研發平臺,依次解決了300mm RF-SOI晶圓所需的低氧高阻晶體制備、低應力高電阻率多晶硅薄膜沉積、非接觸式平坦化等諸多核心技術難題,實現了國內300mm SOI制造技術從無到有的重大突破nBl28資訊網——每日最新資訊28at.com

晶圓即制作硅半導體集成電路所用的硅晶片。nBl28資訊網——每日最新資訊28at.com

高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅;硅晶棒在經過研磨、拋光、切片后,形成硅晶圓片,也就是所說的晶圓。nBl28資訊網——每日最新資訊28at.com

晶圓作為半導體材料,在微電子技術領域中具有非常廣泛的應用,是芯片、太陽能電池板、LED光源等重要元器件的基礎。nBl28資訊網——每日最新資訊28at.com

那么晶圓和芯片有什么關系呢?在芯片制造過程中,首先需要將晶圓切割成一定大小的小塊,然后在上面進行電路設計、光刻等工藝步驟,終形成一個完整的芯片。nBl28資訊網——每日最新資訊28at.com

晶圓和芯片之間的關系大致可以類比為“大理石”和“雕塑”的關系,晶圓就像是一塊未被雕刻的大理石,而芯片則是在晶圓上按照設計圖案雕刻出來的具有特定功能的結構。nBl28資訊網——每日最新資訊28at.com

此次實現的300mm 射頻SOI晶圓的自主制備,將有力推動國內RF-SOI芯片設計、代工以及封裝等全產業鏈的協同快速發展,并為國內SOI晶圓的供應安全提供堅實的保障nBl28資訊網——每日最新資訊28at.com

國產芯片從無到有重大突破:首片300mm SOI晶圓制備完成nBl28資訊網——每日最新資訊28at.com

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