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國產SiC技術再突破,獲頭部企業一致肯定

來源: 責編: 時間:2023-09-12 14:41:39 331觀看
導讀最近,國產SiC設備又傳來振奮人心的消息——北京中電科電子裝備有限公司的SiC晶錠和晶片減薄機實現了6/8英寸大尺寸和新工藝路線匹配的雙技術突破。據了解,該技術已經在SiC襯底制備段及器件背面減薄段實現了小批量應用,并

最近,國產SiC設備傳來振奮人心的消息——北京中電科電子裝備有限公司的SiC晶錠和晶片減薄機實現了6/8英寸大尺寸和新工藝路線匹配的雙技術突破eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

據了解,該技術已經在SiC襯底制備段及器件背面減薄段實現了小批量應用,并且獲得了頭部企業的一致認可,而且新的減薄機協同SiC激光改質剝離切割技術,可以大幅降低SiC襯底成本和工時eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

眾所周知,SiC襯底制備挑戰極大,尤其是切磨拋關鍵環節。傳統的砂漿線等切割及研磨技術發展較為成熟,但存在加工效率低、材料損耗大、自動化程度低、面型一致性差等問題,從而導致SiC襯底難以降低成本,阻礙了SiC器件的廣泛采用。eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

砂漿線切割技術不足eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

激光改質剝離切割技術有望給SiC行業發展注入了新的動能。據北京中電科公司分析,相比傳統砂漿線切割,激光剝離技術可以增加6英寸20mm厚度的SiC晶錠切割產量——從32片增加到大約46片襯底片產出數量增加超過44%

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切割損耗與切割片數對比
而且采用激光剝離技術,可以大幅縮短襯底切割工時——總耗時從超過100小時縮減到30小時左右,減少70%以上

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加工時間對比eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

同時,激光技術還有望減少單面機械拋光等加工工序,進一步為SiC切磨拋環節路線帶來新的創新思路。因此,該技術在SiC襯底加工的成熟應用,必將為SiC加工產業鏈帶來輕資產、高效益的新模式,促進SiC襯底降本,為8英寸SiC破局帶來巨大機遇。

SiC襯底切磨拋環節路線對比eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

不過,激光改質剝離切割結合精密減薄技術,還可以打造行業最先進的切磨工藝新路徑,能夠更好地降低材料損耗、晶片損傷,縮短加工周期,兩者相結合不僅可以極大降低SiC襯底制備成本,大幅提高生產效率,有效提升面型一致性,還易于實現自動化,尤其是在8英寸SiC襯底加工上,與傳統工藝相比優勢更加明顯
為此,在取得激光改質剝離切割技術突破的同時,北京中電科公司立足行業所趨,聚焦切磨新工藝的開發,自主研制6/8英寸SiC晶錠自動減薄機、6/8英寸SiC晶片全自動減薄機,進一步推動SiC襯底和器件制造產能躍升、降本增效,促進SiC行業向規模化、低成本方向發展。

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WG-1250碳化硅自動減薄機和WG-1261碳化硅全自動減薄機eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

最近,北京中電科公司自研的6/8英寸WG-1250碳化硅(晶錠)自動減薄機、WG-1261碳化硅(晶片)全自動減薄機核心技術指標均取得了關鍵性突破,6/8英寸SiC減薄后厚度均勻性TTV≤2μm(晶片)/TTV≤3μm(晶錠);翹曲度(WARP)≤30μm(晶片);表面彎曲程度(BOW)≤±15μm(晶片);UPH≥4片/小時(激光剝離面@單面去除80μm),UPH≥7片/小時(多線切割面@雙面去除各70μm),這些技術指標的突破與設備產品的推出,標志著北京中電科公司駛入SiC襯底、SiC器件產業鏈發展的快車道eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

SiC晶片/晶錠減薄前后及實驗數據eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

據了解,該公司是在原有6英寸SiC自動減薄機和12英寸Si晶圓全自動減薄機的基礎上,進一步優化大功率低振動氣浮主軸和高剛度高精度氣浮載臺設計,突破晶圓厚度分區域自動控制技術、晶錠厚度(≤5cm)自動測量技術、不同厚度晶錠同臺同時加工技術及磨削/進給自動快速迭代技術等,不斷優化激光改質剝離切割后的晶錠/晶片磨削工藝。eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

此外,北京中電科還聯合鄭州三磨所進行粗、細、精等金剛石磨輪耗材的工藝適配,克服了SiC材料磨不動不好磨、晶圓面型控制精度差、磨輪損耗大與匹配性差等問題,滿足了6/8英寸雙尺寸、高質量的減薄需求,受到頭部企業的一致認可eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

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自主可控的SiC減薄用關鍵核心零部件

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北京中電科公司表示,他們這次推出的WG-1250碳化硅(晶錠)自動減薄機、WG-1261碳化硅(晶片)全自動減薄機,可聯合國產激光改質剝離切、晶亦精微SiC專用CMP、太原風華SiC缺陷檢測等設備,助力國產6英寸SiC襯底制造的核心裝備局部成線能力快速躍升。他們始終以更快、更準、更精為導向,從更精尖技術、更優越性能和更穩定工藝等多維度持續優化SiC減薄設備,助力國SiC襯底快速邁進8英寸時代eJe28資訊網——每日最新資訊28at.com

新工藝、新裝備、新成果、新起點。北京中電科公司作為重要的設備央企,堅持服務國家戰略,踐行高水平科技自立自強的半導體裝備使命,持續推動產業鏈和創新鏈深度融合,促進產學研用協同發展,助力打通產業鏈上下游,形成協同共贏的創新新局面,大力保障SiC器件供應鏈安全,支撐產業鏈向高端躍升。
北京中電科系列減薄機家譜圖

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