科林研發(fā)公司(Lam Research)正在向三星電子(Samsung Electronics)和SK海力士(SK Hynix)供應(yīng)蝕刻和鑲嵌設(shè)備,以支持他們?cè)诟邘挻鎯?chǔ)器(HBM)領(lǐng)域的后段制程設(shè)備。據(jù)韓國(guó)媒體Theelec報(bào)道,科林研發(fā)的Syndion和SABRE 3D系列產(chǎn)品被這兩家公司用于制作TSV封裝和WLP TSV。
HBM是一種通過(guò)垂直連接多個(gè)DRAM芯片以大幅提高數(shù)據(jù)處理速度的產(chǎn)品。其中,TSV封裝技術(shù)備受關(guān)注,它通過(guò)在芯片上鉆孔并填充金屬來(lái)實(shí)現(xiàn)垂直導(dǎo)通,從而增強(qiáng)芯片的堆疊能力。科林研發(fā)的蝕刻設(shè)備主要用于鉆孔,而鑲嵌設(shè)備則用于銅鑲嵌填充。
根據(jù)三星和SK海力士的HBM發(fā)展藍(lán)圖,到2026年,他們預(yù)計(jì)將上市的HBM4將采用2048位元界面,這比目前量產(chǎn)的HBM3大一倍。這種趨勢(shì)將進(jìn)一步拉動(dòng)蝕刻和鑲嵌設(shè)備的需求。
最近,科林研發(fā)還在韓國(guó)天安開(kāi)設(shè)了事務(wù)所,這可能是為了方便向三星電子等客戶(hù)提供服務(wù)。事實(shí)上,三星計(jì)劃在天安工廠新建HBM封裝生產(chǎn)線,最近還與三星顯示器(Samsung Display;SDC)簽訂了特殊關(guān)系人資產(chǎn)轉(zhuǎn)讓合約,以105億韓元(約795萬(wàn)美元)收購(gòu)SDC天安工廠的部分建筑和設(shè)施,計(jì)劃在天安工廠新建HBM封裝生產(chǎn)線。
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