科林研發公司(Lam Research)正在向三星電子(Samsung Electronics)和SK海力士(SK Hynix)供應蝕刻和鑲嵌設備,以支持他們在高帶寬存儲器(HBM)領域的后段制程設備。據韓國媒體Theelec報道,科林研發的Syndion和SABRE 3D系列產品被這兩家公司用于制作TSV封裝和WLP TSV。
HBM是一種通過垂直連接多個DRAM芯片以大幅提高數據處理速度的產品。其中,TSV封裝技術備受關注,它通過在芯片上鉆孔并填充金屬來實現垂直導通,從而增強芯片的堆疊能力??屏盅邪l的蝕刻設備主要用于鉆孔,而鑲嵌設備則用于銅鑲嵌填充。
根據三星和SK海力士的HBM發展藍圖,到2026年,他們預計將上市的HBM4將采用2048位元界面,這比目前量產的HBM3大一倍。這種趨勢將進一步拉動蝕刻和鑲嵌設備的需求。
最近,科林研發還在韓國天安開設了事務所,這可能是為了方便向三星電子等客戶提供服務。事實上,三星計劃在天安工廠新建HBM封裝生產線,最近還與三星顯示器(Samsung Display;SDC)簽訂了特殊關系人資產轉讓合約,以105億韓元(約795萬美元)收購SDC天安工廠的部分建筑和設施,計劃在天安工廠新建HBM封裝生產線。
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