日前，“2024 集成電路產業鏈協同創新發展交流會暨中國集成電路創新聯盟大會”在北京舉行，會上頒發了“第七屆集成電路產業技術創新獎”（簡稱 IC 創新獎）。經過申報、受理、評選等環節，東方晶源自主研發的關鍵尺寸量測設備 CD-SEM 成功斬獲第七屆 IC 創新獎 —— 成果產業化獎。qEx28資訊網——每日最新資訊28at.com

qEx28資訊網——每日最新資訊28at.com

CD-SEM 用于集成電路硅片圖形關鍵尺寸量測，是良率控制核心設備。該類設備被日本和美國公司壟斷，國內空白，屬于“卡脖子”產品。東方晶源自 2021 年先后推出 12 英寸 CD-SEM 和 6&8 英寸兼容 CD-SEM 設備，成功突破多項關鍵技術，如高速高精度硅片傳輸定位、圖像像差補償等，創新性地提出了復合高精度定位技術、電磁復合偏轉器及多級視場像差校正方法，從而大幅提升了設備性能與良率優化能力。qEx28資訊網——每日最新資訊28at.com

東方晶源 CD-SEM 產品已廣泛應用于多個制程領域，包括 12 英寸≥28nm 邏輯制程、3D-NAND 制程、DRAM 制程，以及 8 英寸 Si、MEMS 制程和 6 英寸第三代半導體 SiC、GaN、GaAs 等化合物制程，成功獲得國內多家晶圓制造頭部企業認可，具有極高的性能表現和可靠性，市場認可度高。qEx28資訊網——每日最新資訊28at.com

“IC 創新獎”重點鼓勵集成電路技術創新、成果產業化、產業鏈上下游合作，是集成電路產業最重要的技術獎項之一。其中“成果產業化獎項”皆在表彰集成電路創新成果產業化推進和市場拓展方面取得突出業績的單位和團隊，東方晶源 CD-SEM 獲此獎項實至名歸。值得一提的是，東方晶源電子束缺陷檢測設備 EBI 產品曾獲得第五屆 IC 創新獎 —— 技術創新獎。qEx28資訊網——每日最新資訊28at.com

檢測、量測設備是集成電路制造過程中進行良率控制的關鍵設備，作為立足良率管理的企業，東方晶源自成立以來便聚焦電子束檢測、量測領域，經過十年的發展，突破多項關鍵核心技術、產業化進程突飛猛進、積極布局電子束缺陷復檢設備 DR-SEM，為我國芯片安全做出了重要的貢獻。未來，東方晶源將繼續在電子束檢測、量測領域深耕，不斷進行技術突破與產品創新。同時，將充分發揮公司在計算光刻 OPC 等軟件方面的優勢，將軟硬件進行協同，為國內集成電路制造良率管理探索全新路徑。qEx28資訊網——每日最新資訊28at.com

本文鏈接：http://www.tebozhan.com/showinfo-26-81757-0.html東方晶源 CD-SEM 榮獲第七屆“IC 創新獎”成果產業化獎

聲明：本網頁內容旨在傳播知識，若有侵權等問題請及時與本網聯系，我們將在第一時間刪除處理。郵件：2376512515@qq.com

上一篇： 扎克伯格超越馬斯克，成全球第三大富豪

下一篇： TrendForce：美光 DRAM 產能受臺灣地區花蓮地震影響，內存廠商紛紛停止報價