近期,各大視頻平臺瘋傳一條消息,稱清華大學EUV項目把ASML的光刻機巨大化,實現了光刻機國產化,并表示這個項目已經在雄安新區落地。還在視頻中配了這樣一張圖,表示圖片中的項目就是光刻廠。
該項目是國產光刻機工廠?NO!這是北京高能同步輻射光源項目(HEPS)!
關于北京高能同步輻射光源HEPS坐落于北京懷柔雁棲湖畔,是國家“十三五”重大科技基礎設施。它是我國第一臺高能量同步輻射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一。早在2019年就開始建設,將于2025年底投入使用。
HEPS是干嘛用的呢?它的作用是通過加速器將電子束加速到6GeV,然后注入周長1360米的儲存環,用接近光速的速度保持運轉。電子束在儲存環的不同位置通過彎轉磁鐵或者各種插入件時,就會沿著偏轉軌道切線的方向釋放出穩定、高能量、高亮度的光,也就是同步輻射光。
簡單的說,HEPS可以看成是一個超精密、超高速、具有強大穿透力的巨型X光機,它產生的小光束可以穿透物質、深入內部進行立體掃描,從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界。HEPS是進行科學實驗的大科學裝置,并不是網傳的光刻機工廠。
該項目由全國勘察設計大師、國投集團首席科學家婁宇帶隊、中國電子院多個技術科研和設計團隊協同合作,從項目可研立項到項目落地。中國電子院攻克了多項技術和工藝難關,解決了項目不均勻沉降、微振動控制、超長結構設計、光伏板設計、精密溫度控制、工藝循環冷卻水系統、超復雜工藝系統等七大技術難題,實現了重大技術突破,指標控制達到了國際先進水平。
目前高能同步輻射光源配套工程已全面完工,向產生世界最“亮”的光又更近了一步。
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