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突破掩模限制!尼康發(fā)布全球首款后道光刻機(jī)

來源: 責(zé)編: 時間:2025-07-23 12:19:50 38觀看
導(dǎo)讀 快科技7月23日消息,據(jù)媒體報(bào)道,全球光刻巨頭尼康近日宣布,正式推出全球首款專為半導(dǎo)體后道工藝設(shè)計(jì)的無掩模光刻系統(tǒng)——DSP-100,并已啟動全球預(yù)訂,預(yù)計(jì)于2026年3月31日前正式上市。該設(shè)備以“高

快科技7月23日消息,據(jù)媒體報(bào)道,全球光刻巨頭尼康近日宣布,正式推出全球首款專為半導(dǎo)體后道工藝設(shè)計(jì)的無掩模光刻系統(tǒng)——DSP-100,并已啟動全球預(yù)訂,預(yù)計(jì)于2026年3月31日前正式上市。EFQ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

該設(shè)備以“高精度、大尺寸、高效率”為核心優(yōu)勢,旨在為快速發(fā)展的扇出型面板級封裝(FOPLP)技術(shù)提供關(guān)鍵設(shè)備支持。EFQ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

DSP-100將FPD曝光設(shè)備的多鏡組技術(shù),與半導(dǎo)體高分辨率工藝相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了1.0μm(1000nm)的線寬/間距(L/S)分辨率,重合精度≤±0.3μm,不僅提升了圖像的清晰度,擴(kuò)大曝光范圍,生產(chǎn)效率也提升30%左右。EFQ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

與傳統(tǒng)光刻機(jī)不同,DSP-100采用無掩膜的SLM(空間光調(diào)制器)技術(shù),直接將電路圖案投射到基板上,無需使用光掩膜。這種方式既避免了掩膜尺寸的限制,還能大幅降低開發(fā)和生產(chǎn)成本,同時縮短產(chǎn)品設(shè)計(jì)和制造周期。由于無需掩膜,該設(shè)備還可以有效減少光學(xué)畸變,提高成像質(zhì)量。EFQ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

DSP-100支持大600mm x 600mm的方形基板,適用于扇出面板級封裝(FOPLP)技術(shù),這是當(dāng)前先進(jìn)封裝領(lǐng)域的重要趨勢。相比傳統(tǒng)300mm晶圓,600mm基板能顯著提升單位載板產(chǎn)量(例如,封裝100mm見方芯片時效率可提升9倍)。EFQ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

實(shí)測數(shù)據(jù)顯示,在510mm×515mm基板上,其每小時處理量可達(dá)50片,遠(yuǎn)超現(xiàn)有晶圓級封裝方案。整體生產(chǎn)效率提升約30%。EFQ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

隨著AI芯片用量年均激增35%,先進(jìn)封裝市場正以20% 的復(fù)合增長率高速擴(kuò)張。臺積電、英特爾、三星等行業(yè)巨頭正積極采用FOPLP技術(shù)以突破300mm晶圓限制。DSP-100的推出,正為這一蓬勃發(fā)展的市場提供了急需的先進(jìn)裝備。EFQ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

尼康透露,DSP-100已獲得多家頭部封測廠的訂單意向。公司預(yù)計(jì),該設(shè)備在2026財(cái)年上市后,將迅速搶占FOPLP設(shè)備市場20% 的份額,成為推動先進(jìn)封裝技術(shù)演進(jìn)的重要力量。EFQ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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