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陽明交大研發深紫外光超穎透鏡

來源:icspec 責編: 時間:2025-04-17 06:48:34 11觀看
導讀據媒體報道,陽明交通大學電子研究所成功開發出一款深紫外光(Deep Ultraviolet, DUV)超穎透鏡,這項技術在半導體和生醫影像等領域具有廣泛應用前景。由于深紫外光波長比UVA、UVB更短,其控制元件成本高昂,限制了實際應用。然
據媒體報道,陽明交通大學電子研究所成功開發出一款深紫外光(Deep Ultraviolet, DUV)超穎透鏡,這項技術在半導體和生醫影像等領域具有廣泛應用前景。由于深紫外光波長比UVA、UVB更短,其控制元件成本高昂,限制了實際應用。然而,這款新型超穎透鏡的問世,為相關領域帶來了突破性進展,并登上國際期刊《Nano Letters》封面。
這款超穎透鏡厚度僅380納米,遠小于一根頭發絲,但其光學操控能力卻達到了深紫外光聚焦的極限。其核心創新在于首次采用氮化鋁材料,這種材料在積體電路中廣泛使用,具備耐高溫、散熱性能優異、化學穩定性高以及不吸收深紫外光的特性。實驗表明,這款透鏡不僅可用于深紫外光影像拍攝,還能完成深紫外光超快雷射雕刻,這兩項成果均為國際首次實現。
陽明交大電子研究所助理教授曾銘綸表示,深紫外光技術在基礎科學研究和工業應用中具有重要價值,但相關設備的高昂成本一直是推廣的障礙。例如,用于精密深紫外雷射加工的鏡頭造價高達百萬新臺幣。超穎透鏡通過數以萬計精心設計的半導體奈米天線,調控幾何參數以精確操控光的產生與聚焦,為降低成本提供了新思路。
超穎透鏡是一種基于奈米結構的光學元件,具備傳統透鏡的功能,同時展現更豐富的特性。近年來,該技術已被廣泛應用于全彩影像技術、量子光學和生醫檢測等高精度領域。有傳言稱,蘋果可能在新一代手機中引入這種全新的半導體光學技術。
研究團隊表示,未來將借助超穎透鏡輕薄短小、功能多樣且開發自由度高的特點,推動其在矽光子元件加工、生醫影像檢測以及半導體檢測等領域的關鍵應用。同時,團隊也看好由半導體奈米結構組成的超穎介面在未來量產與商業化方面的潛力。

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