據中國光谷消息，4月2日，君原電子與武漢東湖高新區正式簽約，計劃在光谷筑芯科技產業園建設半導體靜電吸盤項目。該項目將為光谷集成電路企業提供靜電吸盤的生產與維修服務。
君原電子成立于2020年，專注于半導體靜電吸盤（ESC）的研發與量產，其產品覆蓋14納米及以上制程的主要刻蝕機臺應用，并已通過國內12英寸晶圓廠驗證。公司總經理王繼增表示，項目落戶光谷后，將進一步縮短與當地集成電路企業的距離，降低物流成本，提升產品應用效率。未來，君原電子將與產業鏈上下游企業協同合作，持續突破靜電吸盤技術，力爭成為全球領先的集成電路核心零部件供應商。
靜電吸盤是晶圓生產設備的關鍵部件之一，利用靜電吸附和搬運晶圓，類似芯片制造的“隱形手”。它被廣泛應用于刻蝕機、光刻機和鍍膜設備中，能夠確保晶圓在加工過程中保持穩定。由于陶瓷材料與精密電極的制造難度較高，靜電吸盤技術成為國內企業在推進芯片制造國產化過程中亟需攻克的重要領域。
此次簽約項目位于未來科技城的光谷筑芯科技產業園，將建設專門的靜電吸盤產線，助力光谷集成電路產業的發展。
圖源：中國光谷，光谷筑芯科技產業園效果圖

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