在近期落幕的SEMICON China 2025展會上，萬業(yè)企業(yè)旗下的凱世通離子注入機尤為引人注目。離子注入機作為高端半導體設備，其研發(fā)難度僅次于光刻機，長期以來被國外廠商壟斷。凱世通作為國內(nèi)少數(shù)幾家離子注入機廠商之一，近年來在技術突破和產(chǎn)業(yè)化方面取得了顯著進展。
據(jù)全球半導體觀察報道，凱世通展示了全系列集成電路離子注入機產(chǎn)品矩陣，涵蓋低能大束流、高能離子注入機等設備。這些產(chǎn)品在離子源、晶圓傳送、顆粒污染物控制等關鍵技術上實現(xiàn)了持續(xù)升級，獲得了晶圓廠客戶的廣泛認可。
圖源：凱世通
凱世通的技術突破不僅體現(xiàn)在國產(chǎn)超低溫離子注入機的產(chǎn)業(yè)化上，還成功完成了新機型CIS離子注入機的驗證驗收，填補了國內(nèi)空白。公司透露，自2020年首臺訂單突破以來，已累計收獲近60臺12英寸離子注入機訂單，總金額超14億元，服務了十余家重點芯片制造企業(yè)。

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