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中央硝子開(kāi)發(fā)無(wú)PFAS半導(dǎo)體光阻劑，希望擠入光阻劑市場(chǎng)

來(lái)源：責(zé)編：時(shí)間：2025-02-27 08:27:13 48觀看

導(dǎo)讀中央硝子成功研發(fā)出不使用全氟和多氟烷基物質(zhì)（PFAS）的半導(dǎo)體光阻劑，計(jì)劃2028年量產(chǎn)。隨著半導(dǎo)體制造商推進(jìn)PFAS減量，中央硝子搶占先機(jī)推出新材料。據(jù)日經(jīng)新聞與官網(wǎng)數(shù)據(jù)，近年來(lái)環(huán)保要求提升，市場(chǎng)對(duì)無(wú)PFAS新材料需求增加。中

中央硝子成功研發(fā)出不使用全氟和多氟烷基物質(zhì)（PFAS）的半導(dǎo)體光阻劑，計(jì)劃2028年量產(chǎn)。隨著半導(dǎo)體制造商推進(jìn)PFAS減量，中央硝子搶占先機(jī)推出新材料。

據(jù)日經(jīng)新聞與官網(wǎng)數(shù)據(jù)，近年來(lái)環(huán)保要求提升，市場(chǎng)對(duì)無(wú)PFAS新材料需求增加。中央硝子實(shí)現(xiàn)ArF浸潤(rùn)式光阻劑關(guān)鍵材料PFAS無(wú)害化，將持續(xù)推動(dòng)產(chǎn)品化。

中央硝子與比利時(shí)微電子研究中心簽署共同開(kāi)發(fā)協(xié)議，加速研發(fā)無(wú)PFAS ArF浸沒(méi)式光阻劑。雙方將于2025年2月在美國(guó)舉行的國(guó)際學(xué)術(shù)會(huì)議上發(fā)表研究成果及計(jì)劃。

PFAS種類(lèi)超過(guò)4700種，其中PFOS與PFOA因健康風(fēng)險(xiǎn)在日本被禁。盡管PFAS影響尚缺乏充分科學(xué)證據(jù)，歐洲化學(xué)品管理局已提出全面限制PFAS提案。

臺(tái)積電日本子公司與Rapidus也關(guān)注PFAS問(wèn)題。在半導(dǎo)體等領(lǐng)域，部分PFAS材料難以替代，如何消除疑慮成為廠商課題。中央硝子以不含PFAS為賣(mài)點(diǎn)，希望擠入光阻劑市場(chǎng)。

本文鏈接：http://www.tebozhan.com/showinfo-27-134226-0.html中央硝子開(kāi)發(fā)無(wú)PFAS半導(dǎo)體光阻劑，希望擠入光阻劑市場(chǎng)

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