中央硝子成功研發(fā)出不使用全氟和多氟烷基物質(zhì)（PFAS）的半導體光阻劑，計劃2028年量產(chǎn)。隨著半導體制造商推進PFAS減量，中央硝子搶占先機推出新材料。
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據(jù)日經(jīng)新聞與官網(wǎng)數(shù)據(jù)，近年來環(huán)保要求提升，市場對無PFAS新材料需求增加。中央硝子實現(xiàn)ArF浸潤式光阻劑關鍵材料PFAS無害化，將持續(xù)推動產(chǎn)品化。Njj28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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中央硝子與比利時微電子研究中心簽署共同開發(fā)協(xié)議，加速研發(fā)無PFAS ArF浸沒式光阻劑。雙方將于2025年2月在美國舉行的國際學術會議上發(fā)表研究成果及計劃。Njj28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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PFAS種類超過4700種，其中PFOS與PFOA因健康風險在日本被禁。盡管PFAS影響尚缺乏充分科學證據(jù)，歐洲化學品管理局已提出全面限制PFAS提案。Njj28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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臺積電日本子公司與Rapidus也關注PFAS問題。在半導體等領域，部分PFAS材料難以替代，如何消除疑慮成為廠商課題。中央硝子以不含PFAS為賣點，希望擠入光阻劑市場。Njj28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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