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中微公司發(fā)布12英寸晶圓邊緣刻蝕設(shè)備

來源：icspec 責編： 時間：2025-04-02 14:40:47 93觀看
導讀在SEMICON China 2025展會期間，中微半導體設(shè)備（上海）股份有限公司正式推出自主研發(fā)的12英寸晶圓邊緣刻蝕設(shè)備Primo Halona?。這款設(shè)備采用雙反應(yīng)臺設(shè)計，可根據(jù)需求靈活配置最多三個雙反應(yīng)臺的反應(yīng)腔。每個反應(yīng)腔能夠同時
在SEMICON China 2025展會期間，中微半導體設(shè)備（上海）股份有限公司正式推出自主研發(fā)的12英寸晶圓邊緣刻蝕設(shè)備Primo Halona?。這款設(shè)備采用雙反應(yīng)臺設(shè)計，可根據(jù)需求靈活配置最多三個雙反應(yīng)臺的反應(yīng)腔。每個反應(yīng)腔能夠同時加工兩片晶圓，在降低生產(chǎn)成本的同時，滿足晶圓邊緣刻蝕的量產(chǎn)需求。其設(shè)計不僅提升了產(chǎn)出密度和生產(chǎn)效率，還配備了抗腐蝕材料的腔體和Quadra-arm機械臂，確保設(shè)備在鹵素氣體環(huán)境中的穩(wěn)定性與耐久性。
Primo Halona?還引入了獨特的自對準安裝方案，可提高上下極板的對中精度和平行度，同時減少因校準安裝導致的停機維護時間，助力客戶優(yōu)化產(chǎn)能。在智能化方面，該設(shè)備提供可選裝的集成量測模塊，支持本地實時膜厚量測和晶圓傳送的補償校準，操作簡便，顯著提升后期維護效率。


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