據報道，東方晶源最新推出的DR-SEM r655產品實現了多項技術升級。新一代設備配備了高性能電子槍、光學檢測模組以及升級版傳片系統和算法系統，成功突破了一系列技術瓶頸，能夠滿足國內先進制程產線的應用需求。
電子束檢測成像技術方面，r655搭載5通道探測器，覆蓋了更廣泛的檢測需求。4個側向探測器支持全角度形貌掃描，顯著提升了缺陷立體成像效果，尤其在淺刮傷等微小缺陷的復檢中表現出色。頂端探測器則增強了背散射電子信號接收能力，精準捕捉材料襯度差異，滿足先進制程的多種場景需求。此外，設備還適配高深寬比結構檢測，性能可與國際成熟機型媲美。
光學檢測方面，r655通過兩項核心改進實現了靈敏度的突破。其優化后的光路設計縮小了與目標缺陷尺寸的檢測差距，同時基于自研光路和國產深紫外激光源，光學檢測靈敏度提升至20nm，未來還具備進一步優化的潛力。
在效能方面，r655通過平臺級升級全面優化了晶圓吞吐效率。新設備縮短了晶圓傳輸時間，并配合新一代電子光學系統加速缺陷抓取，處理速度接近國際一線設備水平。模塊化擴展設計則支持多種選配模組和升級需求，確保設備在先進制程中具備長期競爭力。

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