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近日臺積電聲明指出，關鍵設備EUV“安全無虞”，在地震10小時后產能就恢復到了七成或八成，然而地震及余震仍然對部分生產設施產生影響。
供應鏈指出，此次地震致使生產中斷以及造成損失約為6200萬美元。
其中，雖然EUV沒有損壞，但工廠的橫梁、柱子、墻壁和管道在地震中遭到損壞，臺積電并未對此置評。
此外，該公司在5日發出的最新聲明中表示，除了位于震幅較大地區的部分生產線需要較長的時間調整、校正以回復自動化生產外，感謝公司同仁及供應商伙伴的共同努力，臺灣晶圓廠內的設備已大致復原。
臺積電還表示，全年業績展望以美元計仍將維持一月法說會的水平，全年營收預計增長低至中段二十位數百分比。
TrendForce集邦咨詢透露，由于本次地震大多晶圓代工廠都位屬在震度四級的區域，加上中國臺灣地區的半導體工廠多以高規格興建，內部的減震措施都是世界頂尖水平，多半可以減震1至2級。
以本次的震度來看，幾乎都是停機檢查后，迅速復工進行，縱使有因為緊急停機或地震損壞爐管，導致在線晶圓破片或是毀損報廢，但由于目前成熟制程廠區產能利用率平均皆在50~80%，故損失大多可以在復工后迅速將產能補齊，產能損耗算是影響輕微。
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